山东离子注入机迎突破助力第三代半导体产业高质量发展！

来源：竞博jbo电竞    发布时间：2025-08-07 01:25:08

  近期，大众日报报道#艾恩半导体 自主研发制造的第一代碳化硅离子注入机已经推向市场，正由芯片制造厂商进行验证。

  除已推向市场的第一代碳化硅离子注入机外，艾恩半导体对标国际领先技术水平的第二代碳化硅离子注入机目前正在紧锣密鼓的研发过程中，有望于今年9月面市。今年6月，该公司还将推出一款硅基中束流离子注入机。

  除此之外，由艾恩半导体自主研发制造的碳化硅大束流离子注入机，预计将于今年年底推向市场，有望填补国产设备在这一领域的空白。

  资料显示，离子注入机是芯片制造领域仅次于光刻工艺的重要环节，其注入效果决定了芯片内部结构器件最基本、最核心的电学性能，对第三代半导体产业高质量发展至关重要。

  由于技术复杂度高、验证周期长的特点，长期以来离子注入机被国外大厂垄断，国产化率极低，国内半导体厂商极易被“卡脖子”。这一背景下，近年国内半导体设备厂商积极瞄准该领域发展。

  艾恩半导体专注于芯片制造核心设备——离子注入机研发、制造，2024年年底，在其天使投资人——鲁信集团直管企业鲁信创投的“牵线搭桥”下，艾恩半导体将公司总部迁入山东、落地济南高新区。

  据悉，鲁信创投在艾恩半导体成立之初便来投资孵化，积极通过招商引资助其落户山东，将有效补强山东第三代半导体产业链，充分的发挥承上启下作用，促进产业链上下游、大中小企业紧密配套、融通发展，打造空间集聚、功能关联的第三代半导体产业集群，助力国产离子注入机供应链自主可控尽快成为现实。

  山东作为中国工业大省，正加速布局第三代半导体产业。山东已将第三代半导体产业纳入新材料产业科学技术创新行动计划核心板块，明白准确地提出实施“标志性产业链战略材料攻坚行动”。

  目前，山东已形成涵盖衬底材料、外延生长、芯片设计、器件制造到封装测试的完整产业链，涌现出山东天岳、山东晶镓、艾恩半导体等众多知名企业。

  区域布局上，济南依托国家集成电路设计产业化基地，聚焦碳化硅基功率半导体器件生产，打造国际先进产业基地；青岛发挥整机应用优势，形成从材料到封测的完整产业链；济宁强化上游材料基础，潍坊布局研发创新，其他地市差异化协同发展。

  其中，济南近期发布《2025年国民经济与社会持续健康发展计划》，提出要加快培育产业新动能，打造第三代半导体产业高地，快速推进山东中晶芯源碳化硅单晶和衬底项目、山东天岳碳化硅材料产业化项目建设，加大碳化硅上下游领域布局力度，争取集成电路关键材料和第三代半导体项目获得国家支持。

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